מיקראָפּאָרע לאַזער פּערפאָראַטיאָן מאַשין פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער
די מינימום פּראַסעסינג מיקראָפּאָרע דיאַמעטער איז 5μם, די קוילעלדיק פּראַסעסינג אַקיעראַסי איז ±4μם, די היגע שטריך אַקיעראַסי איז ווייניקער ווי 3μם, און די פּראַסעסינג ברייט איז 300*300מם..
דער הויפּט געניצט פֿאַר: מאַנופאַקטורינג מיקראָעלעקטראָניש מיטל, פּרינטינג מוסטער צוגרייטונג, ביאָטשיפּ צוגרייטונג, פּינטלעכקייַט פורעם פאָרמינג, ינסטראַמענטיישאַן פּינטלעכקייַט טיילן מאַנופאַקטורינג
1. ניצן הויך-מאַכט און הויך-סטאַביליטי ווו לאַזער צו גלייַך אַבלייט די גאַסאַפאַקיישאַן מאַטעריאַל, מיט אַ μm-מדרגה פּראַסעסינג עפענונג און אַ μm-מדרגה היץ-אַפעקטאַד זאָנע;
2. הויך-גיכקייַט און הויך-פּינטלעכקייַט קאָנטראָל פון שטראַל דעפלעקטיאָן דורך ימפּאָרטיד פּינטלעכקייַט גאַלוואַנאָמעטערס צו דערגרייכן הויך-גיכקייַט קליין-פאָרמאַט פּינטלעכקייַט מיקראָ-לאָך פּראַסעסינג;
3. הויך-גיכקייַט און הויך-פּינטלעכקייַט גרויס פֿאָרמאַט מיקראָ-לאָך פּראַסעסינג איז איינגעזען דורך די איבערזעצונג פון די מיקראָן-מדרגה הויך-גיכקייַט לינעאַר מאָטאָר פּלאַטפאָרמע;
4. די ז-אַקס איז ילעקטריקלי אַדזשאַסטאַבאַל צו אַדאַפּט צו מאַטעריאַלס פון פאַרשידענע טהיקנעססעס און צו טרעפן ספּעציפיש טאַפּער לאָך פּראַסעסינג רעקווירעמענץ;
5. די קייט אַקס סופּער-האַכלאָטע ינדאַסטריאַל אַפּאַראַט איז געניצט פֿאַר פול-ראַם טעות קערעקשאַן פון די גאַלוואַנאָמעטער, הינטער-הויך-פּינטלעכקייַט פאָוקיסינג, און אָנליין מעזשערמאַנט צו ענשור די לאַנג-טערמין פעסטקייַט און אַקיעראַסי פון די סיסטעם;
6. די סיסטעם אַדאַפּץ מירמלשטיין קאַונערטאַפּס צו פֿאַרבעסערן די קוילעלדיק פעסטקייַט פון די סיסטעם, און אַלע מעטשאַניקאַל קאַמפּאָונאַנץ זענען קערפאַלי אויסגעקליבן צו ענשור לאַנג-טערמין אַקיעראַסי;
7. די מינימום פּראַסעסינג מיקראָפּאָרע דיאַמעטער איז 5μם, די קוילעלדיק פּראַסעסינג אַקיעראַסי איז ±4μם, די היגע שטריך אַקיעראַסי איז ווייניקער ווי 3μם, און די פּראַסעסינג ברייט איז 300*300מם;
8. עס איז געניצט פֿאַר פּינטלעכקייַט מיקראָמאַשינינג פון מעטאַלס, סעראַמיקס, סיליציום ווייפערז, גלאז, אָרגאַניקס און אנדערע מאַטעריאַלס, אַזאַ ווי מיקראָ-לאָך פּראַסעסינג און פּינטלעכקייַט קאַטינג.
קאַמפּערד מיט EDM מיקראָ-לאָך פּראַסעסינג, מעטשאַניקאַל דרילינג, כעמישער קעראָוזשאַן, מעטשאַניקאַל פּאַנטשינג, אאז"ו ו, לאַזער פּינטלעכקייַט מיקראָ-לאָך מאַשינינג האט די פאלגענדע אַדוואַנטידזשיז:
הויך גיכקייַט (אַרויף צו 4000 האָלעס פּער סעקונדע)
הויך פּינטלעכקייַט (<3μם)
קיין מאַטעריאַל ריסטריקשאַנז (מעטאַלז, סעראַמיקס, סיליציום ווייפערז, אָרגאַניק, אאז"ו ו)
פּראָגראַממאַבלע לאָך מוסטער (מינימום 5μם, ספּעציפיש טאַפּער לאָך)
פאַרשפּרייטונג קענען זיין קאַסטאַמייזד (פּראַסעסינג ברייט 300 מם * 300 מם), קיין פורעם און מאַסקע פארלאנגט
קיין פאַרפּעסטיקונג און קיין קאָנסומאַבלעס
דירעקט פּראַסעסינג
זאכן | פּאַראַמעטער | FM-UVM3A | FM-UVM3B |
לייזער | כוואַליע | 355nm | |
קראַפט | >3W@40kHz (3-40W אַפּשאַנאַל) | ||
מאַדזשאַלייטינג אָפטקייַט | 1~200KHz | ||
דויפעק ברייט | 15ns@40kHz | ||
שטראַל קוואַליטעט | <1.2 | ||
Galvo | סקאַן געגנט | <50*50מם | <15*15מם |
רעפּעאַטאַביליטי אַקיעראַסי | <1ום | ||
פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי | ≤±3ום | ||
XY טישן | רייזע | 300 * 300 מם (600 * 600 מם אַפּשאַנאַל) | |
פּאַזישאַנינג האַכלאָטע | 0.1ום | ||
רעפּעאַטאַביליטי אַקיעראַסי | ≤±1ום | ||
פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי | ≤±3ום | ||
אַקסעלעריישאַן | ≤1ג | ||
ספּיד | ≤200מם/ס | ||
ז אַקס | רייזע | 150 מם | |
רעפּעאַטאַביליטי אַקיעראַסי | ≤±3ום | ||
פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי | ≤±5ום | ||
קקד מאָניטאָרינג פּאַזישאַנינג | אַפּאַראַט | פינף-מעגאַפּיקסעל | |
אָפּטיש מאַגנאַפאַקיישאַן | 10X | ||
געגנט ספּליסינג | אַקיעראַסי | ±3μם | |
פּראַסעסינג | מינימום אָרט | 8ום | 5um |
לאָך פּראַסעסינג אַקיעראַסי | ±5um | ||
רעפּעאַטאַביליטי אַקיעראַסי | ≤±1ום | ||
בנימצא מאַטעריאַלס פֿאַר פּראַסעסינג | גלאז, אָרגאַניק, מעטאַלס, סעראַמיקס, אאז"ו ו. | ||
GGGGA אַפּלאַקיישאַן | רער פלאַש | ok | גוט |
שטאַרבן פלאַש | ok | גוט | |
פּלאַסטיק פלאַש | נישט גוט | ok | |
ווייך באַגס | ניט בנימצא | ok | |
קולאַנט סיסטעם | וואַסער קולאַנט (1500 וו קאָאָלינג קאַפּאַציטעט) | ||
מאַכט צושטעלן | 220 וו, 50 ~ 60 הז, 1 פאַסע אָדער קאַסטאַמייזד | ||
קראַפט | ≤2000W | ||
מאָס (מם) | 1200 * 1200 * 1900 מם | ||
וואָג (קג) | 1200 קג |
באַמערקונג: קעסיידערדיק טעמפּעראַטור (25 ± 0.5 ℃), באקומען נאָך פּרעהעאַטינג פֿאַר 30 מינוט