Yarimo'tkazgich uchun Micropore lazerli perforatsiya mashinasi

Qisqa Tasvir:

Ilova: Shisha, organik, metallar, keramika va boshqalar.

Minimal teshik diametri: 5 mkm

Aniqlik: ± 4 mm,

Mahalliy xususiyat aniqligi: <3 mikron

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Minimal ishlov berish mikroporining diametri 5 mkm, umumiy ishlov berish aniqligi ± 4 mkm, mahalliy xususiyat aniqligi 3 mm dan kam va ishlov berish kengligi 300 * 300 mm..

Asosan quyidagilar uchun ishlatiladi: mikroelektron qurilmalar ishlab chiqarish, bosma shablonni tayyorlash, biochip tayyorlash, nozik qoliplarni shakllantirish, asboblarning nozik qismlarini ishlab chiqarish

1. Gazlashtirish materialini to'g'ridan-to'g'ri yo'q qilish uchun yuqori quvvatli va yuqori barqaror UV lazeridan foydalanish, mikron darajasidagi ishlov berish diafragma va mikron darajasidagi issiqlik ta'sir zonasi;

2. Yuqori tezlikda kichik formatli nozik mikro-teshik ishloviga erishish uchun import qilingan nozik galvanometrlar orqali nurning burilishini yuqori tezlikda va yuqori aniqlikdagi nazorat qilish;

3. Yuqori tezlikli va yuqori aniqlikdagi katta formatli mikro-teshikli ishlov berish mikron-darajali yuqori tezlikda chiziqli vosita platformasining tarjimasi bilan amalga oshiriladi;

4. Z-o'qi turli qalinlikdagi materiallarga moslashish va maxsus konusning teshiklarini qayta ishlash talablariga javob berish uchun elektr bilan sozlanishi;

5. Diapazon o'qi super o'lchamli sanoat kamerasi tizimning uzoq muddatli barqarorligi va aniqligini ta'minlash uchun galvanometrning to'liq kvadrat xatosini tuzatish, ultra yuqori aniqlikdagi fokuslash va onlayn o'lchash uchun ishlatiladi;

6. Tizim tizimning umumiy barqarorligini yaxshilash uchun marmar dastgohlarni qabul qiladi va barcha mexanik komponentlar uzoq muddatli aniqlikni ta'minlash uchun ehtiyotkorlik bilan tanlanadi;

7. Minimal ishlov berish mikropore diametri 5 mkm, umumiy ishlov berish aniqligi ± 4 mkm, mahalliy xususiyat aniqligi 3 mm dan kam va ishlov berish kengligi 300 * 300 mm;

8. Metalllarni, keramikalarni, silikon gofretlarni, shishalarni, organiklarni va mikro-teshiklarni qayta ishlash va nozik kesish kabi boshqa materiallarni nozik mikro ishlov berish uchun ishlatiladi.

EDM mikro-teshiklarni qayta ishlash, mexanik burg'ulash, kimyoviy korroziya, mexanik zımbalama va boshqalar bilan taqqoslaganda, lazerli nozik mikro-teshik ishlov berish quyidagi afzalliklarga ega:

Yuqori tezlik (sekundiga 4000 teshikgacha)

Yuqori aniqlik (<3μm)

Moddiy cheklovlar yo'q (metalllar, keramika, kremniy gofretlar, organik moddalar va boshqalar)

Dasturlashtiriladigan teshik namunasi (minimal 5 mkm, maxsus konusli teshik)

Tarqatish moslashtirilgan bo'lishi mumkin (qayta ishlash kengligi 300 mm * 300 mm), qolip va niqob kerak emas

Hech qanday ifloslanish va sarf materiallari yo'q

to'g'ridan-to'g'ri qayta ishlash

Elementlar	Parametr	FM-UVM3A	FM-UVM3B
Lazer	to'lqin	355 nm
	Quvvat	＞3W@40kHz （3-40W ixtiyoriy）
	modulyatsiya chastotasi	1 ~ 200 kHz
	Puls kengligi	15ns@40kHz
	nur sifati	＜1.2
Galvo	Skanerlash maydoni	＜50*50 mm	＜15*15mm
	Takroriylik aniqligi	＜1um
	Joylashuv aniqligi	≤±3um
XY jadvallari	Sayohat	300 * 300 mm (600 * 600 mm ixtiyoriy)
	Joylashuv ravshanligi	0,1 um
	Takroriylik aniqligi	≤±1um
	Joylashuv aniqligi	≤±3um
	Tezlashtirish	≤1G
	Tezlik	≤200mm/s
Z o'qi	Sayohat	150 mm
	Takroriylik aniqligi	≤±3um
	Joylashuv aniqligi	≤±5um
CCD joylashuvini kuzatish	Kamera	besh megapikselli
	Optik kattalashtirish	10X
mintaqani birlashtirish	aniqlik	±3 mkm
Qayta ishlash	Minimal joy	8um	5um
	Teshiklarni qayta ishlashning aniqligi	±5um
	Takroriylik aniqligi	≤±1um
	Qayta ishlash uchun mavjud materiallar	Shisha, organik, metallar, keramika va boshqalar.
GGGG ilovasi	Quvurli shisha	ok	yaxshi
	o'lik shisha	ok	yaxshi
	Plastik shisha	yaxshi emas	ok
	Yumshoq sumkalar	Mavjud emas	ok
Sovutish tizimi	Suv sovutish suvi (sovutish quvvati 1500 Vt)
Quvvatlantirish manbai	220V, 50 ~ 60HZ, 1 fazali yoki moslashtirilgan
Quvvat	≤2000W
O'lchov (mm)	1200 * 1200 * 1900 mm
Og'irligi (KG)	1200 kg