Micropore лазерӣ мошини Perforation барои нимноқилҳо
Диаметри ҳадди ақали коркарди микропоре 5μm, дақиқии умумии коркард ± 4μm, дақиқии хусусияти маҳаллӣ камтар аз 3μm ва паҳнои коркард 300 * 300мм аст..
Асосан барои истеҳсоли дастгоҳҳои микроэлектронӣ, омодасозии қолаби чопӣ, омодасозии биочип, ташаккули қолаби дақиқ, истеҳсоли қисмҳои дақиқи асбобҳо истифода мешавад.
1. Истифодаи лазерии баланд-қувват ва устувории ултрабунафш барои мустақиман аблате кардани маводи газизатсия, бо кушодагии коркарди сатҳи мкм ва минтақаи гармидиҳии сатҳи мкм;
2. Назорати баландсуръат ва дақиқи баланди буриши чӯбро тавассути галванометрҳои дақиқи воридотӣ барои ба даст овардани суръати баланди коркарди дақиқи хурди сӯрохиҳо;
3. Коркарди баландсуръат ва дақиқи баланд-формати хурди сӯрохии калон тавассути тарҷумаи платформаи муҳаррики хаттии баландсуръати сатҳи микрон амалӣ карда мешавад;
4. Меҳвари Z барои мутобиқ шудан ба маводҳои ғафсии гуногун ва қонеъ кардани талаботи мушаххаси коркарди сӯрохи конус аз ҷиҳати электрикӣ танзимшаванда аст;
5. Диапазони меҳвари олиҷаноби саноатӣ барои ислоҳи хатогии пурраи галванометр, фокуси ултра-дақиқ ва ченкунии онлайн барои таъмини устувории дарозмуддат ва дақиқии система истифода мешавад;
6. Система барои беҳтар кардани устувории умумии система тахтаи мармариро қабул мекунад ва ҳамаи ҷузъҳои механикӣ бодиққат интихоб карда мешаванд, то дақиқии дарозмуддатро таъмин кунанд;
7. Ҳадди ақали диаметри коркарди micropore 5μm аст, дақиқии коркарди умумии ± 4μm, дақиқии хусусияти маҳаллӣ камтар аз 3μm ва паҳнои коркард 300 * 300мм аст;
8. Ин аст, ки барои micromachining дақиқ металлҳо, сафолї, wafers кремний, шиша, органикӣ ва маводи дигар, ба монанди коркарди микро-сӯрохи ва буридани дақиқ истифода бурда мешавад.
Дар муқоиса бо EDM коркарди микросӯрохиҳо, пармакунии механикӣ, зангзании кимиёвӣ, шкалаи механикӣ ва ғайра, коркарди дақиқи сӯрохиҳои лазерӣ бартариҳои зерин дорад:
Суръати баланд (то 4000 сӯрохи дар як сония)
Дақиқии баланд (<3μm)
Маҳдудиятҳои моддӣ (металлҳо, сафолҳо, вафли кремний, органикӣ ва ғ.)
Намунаи сӯрохи барномарезишаванда (ҳадди ақал 5μm, сӯрохи конуси мушаххас)
Тақсимро метавон фармоиш дод (паҳнои коркард 300 мм * 300 мм), қолаб ва ниқоб лозим нест
Не ифлосшавй ва на масолехи сермасриф
коркарди бевосита
Ададҳо | Параметр | FM-UVM3A | FM-UVM3B |
Лазер | мавҷ | 355нм | |
Қувва | >3W@40kHz (3-40W ихтиёрӣ) | ||
басомади модуляторӣ | 1 ~ 200 кГц | ||
Паҳнои набз | 15ns@40kHz | ||
сифати нур | <1.2 | ||
Галво | Майдони скан | <50*50мм | <15*15мм |
Дурустии такроршавандагӣ | <1ум | ||
Аниқии ҷойгиршавӣ | ≤±3ум | ||
Ҷадвалҳои XY | Сафар | 300*300мм (600*600мм ихтиёрӣ) | |
Ҳалли ҷойгиршавӣ | 0,1ум | ||
Дурустии такроршавандагӣ | ≤±1ум | ||
Аниқии ҷойгиршавӣ | ≤±3ум | ||
Шитоб | ≤1G | ||
Суръат | ≤200мм/с | ||
меҳвари Z | Сафар | 150мм | |
Дурустии такроршавандагӣ | ≤±3ум | ||
Аниқии ҷойгиршавӣ | ≤±5ум | ||
Мавқеи мониторинги CCD | Камера | панҷ мегапикселӣ | |
Баландшавии оптикӣ | 10X | ||
тақсимоти минтақа | дақиқӣ | ±3мкм | |
Коркард | Минимум ҷой | 8ум | 5ум |
Аниқии коркарди сӯрохиҳо | ±5ум | ||
Дурустии такроршавандагӣ | ≤±1ум | ||
Маводҳои дастрас барои коркард | Шиша, органикӣ, металлҳо, сафолҳо ва ғайра. | ||
Барномаи GGGG | Шиша қубур | ok | хуб |
шиша бимирад | ok | хуб | |
Шишаи пластикӣ | нағз не | ok | |
Халтаҳои мулоим | Дастрас нест | ok | |
Системаи хунуккунӣ | Сардкунандаи об (иқтидори сардшавии 1500 Вт) | ||
Таъмини нерӯ | 220V, 50 ~ 60HZ, 1 марҳила ё фармоишӣ | ||
Қувва | ≤2000Вт | ||
Андоза (мм) | 1200*1200*1900мм | ||
Вазн (KG) | 1200кг |
Эзоҳ: Ҳарорати доимӣ (25±0,5℃), пас аз гармкунии пешакӣ барои 30 дақиқа ба даст оварда мешавад