குறைக்கடத்திக்கான மைக்ரோபோர் லேசர் துளையிடல் இயந்திரம்
குறைந்தபட்ச செயலாக்க மைக்ரோபோர் விட்டம் 5μm, ஒட்டுமொத்த செயலாக்க துல்லியம் ±4μm, உள்ளூர் அம்ச துல்லியம் 3μm க்கும் குறைவாக உள்ளது மற்றும் செயலாக்க அகலம் 300*300mm ஆகும்..
முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது: மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் சாதன உற்பத்தி, அச்சிடும் டெம்ப்ளேட் தயாரிப்பு, பயோசிப் தயாரிப்பு, துல்லியமான அச்சு உருவாக்கம், கருவி துல்லியமான பாகங்கள் உற்பத்தி
1. μm-நிலை செயலாக்கத் துளை மற்றும் μm-நிலை வெப்ப-பாதிக்கப்பட்ட மண்டலத்துடன் வாயுவாக்கப் பொருளை நேரடியாக நீக்குவதற்கு உயர்-சக்தி மற்றும் உயர்-நிலைத்தன்மையுள்ள UV லேசரைப் பயன்படுத்துதல்;
2. அதிவேக சிறிய-வடிவ துல்லியமான மைக்ரோ-துளை செயலாக்கத்தை அடைவதற்கு இறக்குமதி செய்யப்பட்ட துல்லியமான கால்வனோமீட்டர்கள் மூலம் பீம் விலகலின் அதிவேக மற்றும் உயர்-துல்லியமான கட்டுப்பாடு;
3. அதிவேக மற்றும் உயர் துல்லியமான பெரிய வடிவ நுண் துளை செயலாக்கம் மைக்ரான்-நிலை அதிவேக நேரியல் மோட்டார் தளத்தின் மொழிபெயர்ப்பால் உணரப்படுகிறது;
4. Z-அச்சு பல்வேறு தடிமன் கொண்ட பொருட்களுக்கு ஏற்ப மற்றும் குறிப்பிட்ட டேப்பர் துளை செயலாக்கத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய மின்சாரம் சரிசெய்யக்கூடியது;
5. ரேஞ்ச் அச்சு சூப்பர்-ரெசல்யூஷன் தொழில்துறை கேமரா கால்வனோமீட்டரின் முழு-பிரேம் பிழை திருத்தம், அதி-உயர்-துல்லிய கவனம் செலுத்துதல் மற்றும் கணினியின் நீண்ட கால நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியத்தை உறுதிப்படுத்த ஆன்லைன் அளவீடு ஆகியவற்றிற்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது;
6. கணினியின் ஒட்டுமொத்த ஸ்திரத்தன்மையை மேம்படுத்த, பளிங்கு கவுண்டர்டாப்புகளை கணினி ஏற்றுக்கொள்கிறது, மேலும் நீண்ட கால துல்லியத்தை உறுதிப்படுத்த அனைத்து இயந்திர கூறுகளும் கவனமாக தேர்ந்தெடுக்கப்படுகின்றன;
7. குறைந்தபட்ச செயலாக்க நுண்துளை விட்டம் 5μm, ஒட்டுமொத்த செயலாக்க துல்லியம் ±4μm, உள்ளூர் அம்ச துல்லியம் 3μm க்கும் குறைவாக உள்ளது, மற்றும் செயலாக்க அகலம் 300*300mm;
8. இது உலோகங்கள், மட்பாண்டங்கள், சிலிக்கான் செதில்கள், கண்ணாடி, கரிமப் பொருட்கள் மற்றும் மைக்ரோ-ஹோல் செயலாக்கம் மற்றும் துல்லியமான வெட்டு போன்ற பிற பொருட்களின் துல்லியமான மைக்ரோமச்சினிங்கிற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
EDM மைக்ரோ-ஹோல் செயலாக்கம், இயந்திர துளையிடல், இரசாயன அரிப்பு, இயந்திர குத்துதல் போன்றவற்றுடன் ஒப்பிடும்போது, லேசர் துல்லியமான மைக்ரோ-ஹோல் எந்திரம் பின்வரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது:
அதிவேகம் (வினாடிக்கு 4000 துளைகள் வரை)
உயர் துல்லியம் (<3μm)
பொருள் கட்டுப்பாடுகள் இல்லை (உலோகங்கள், மட்பாண்டங்கள், சிலிக்கான் செதில்கள், கரிம பொருட்கள் போன்றவை)
நிரல்படுத்தக்கூடிய துளை முறை (குறைந்தபட்சம் 5μm, குறிப்பிட்ட டேப்பர் துளை)
விநியோகத்தை தனிப்பயனாக்கலாம் (செயலாக்க அகலம் 300mm*300mm), அச்சு மற்றும் முகமூடி தேவையில்லை
மாசு இல்லை மற்றும் நுகர்பொருட்கள் இல்லை
நேரடி செயலாக்கம்
பொருட்களை | அளவுரு | FM-UVM3A | FM-UVM3B |
லேசர் | அலை | 355nm | |
சக்தி | >3W@40kHz (3-40W விருப்பத்தேர்வு) | ||
மாடுலேட்டிங் அதிர்வெண் | 1~200kHz | ||
துடிப்பு அகலம் | 15ns@40kHz | ||
பீம் தரம் | ஜ.1.2 | ||
கால்வோ | பகுதியை ஸ்கேன் செய்யவும் | 50*50 மிமீ | <15*15 மிமீ |
மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய துல்லியம் | ஜ1உம் | ||
நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் | ≤±3um | ||
XY அட்டவணைகள் | பயணம் | 300*300மிமீ (600*600மிமீ விருப்பத்தேர்வு) | |
நிலைப்படுத்தல் தீர்மானம் | 0.1um | ||
மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய துல்லியம் | ≤±1um | ||
நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் | ≤±3um | ||
முடுக்கம் | ≤1ஜி | ||
வேகம் | ≤200மிமீ/வி | ||
Z அச்சு | பயணம் | 150மிமீ | |
மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய துல்லியம் | ≤±3um | ||
நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் | ≤±5um | ||
CCD கண்காணிப்பு நிலைப்படுத்தல் | புகைப்பட கருவி | ஐந்து மெகாபிக்சல் | |
ஆப்டிகல் உருப்பெருக்கம் | 10X | ||
பகுதி பிளவு | துல்லியம் | ±3μm | |
செயலாக்கம் | குறைந்தபட்ச இடம் | 8um | 5um |
துளை செயலாக்க துல்லியம் | ±5um | ||
மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய துல்லியம் | ≤±1um | ||
செயலாக்கத்திற்கான கிடைக்கக்கூடிய பொருட்கள் | கண்ணாடி, கரிமப் பொருட்கள், உலோகங்கள், மட்பாண்டங்கள் போன்றவை. | ||
GGGGA பயன்பாடு | குழாய் பாட்டில் | ok | நல்ல |
இறக்கு பாட்டில் | ok | நல்ல | |
பிளாஸ்டிக் பாட்டில் | நன்றாக இல்லை | ok | |
மென்மையான பைகள் | கிடைக்கவில்லை | ok | |
குளிரூட்டும் அமைப்பு | நீர் குளிரூட்டி (1500W குளிரூட்டும் திறன்) | ||
பவர் சப்ளை | 220V, 50~60HZ, 1 கட்டம் அல்லது தனிப்பயனாக்கப்பட்டது | ||
சக்தி | ≤2000W | ||
அளவீடு(மிமீ) | 1200*1200*1900மிமீ | ||
எடை (கிலோ) | 1200கி.கி |
குறிப்பு: நிலையான வெப்பநிலை (25±0.5℃), 30 நிமிடங்களுக்கு முன் சூடுபடுத்திய பிறகு பெறப்பட்டது