Makinë shpimi me laser mikropore për gjysmëpërçues
Diametri minimal i mikroporeve të përpunimit është 5μm, saktësia e përgjithshme e përpunimit është ±4μm, saktësia e veçorisë lokale është më pak se 3μm dhe gjerësia e përpunimit është 300*300mm..
Përdoret kryesisht për: prodhimin e pajisjeve mikroelektronike, përgatitjen e shablloneve të printimit, përgatitjen e bioçipëve, formimin e saktë të mykut, prodhimin e pjesëve me saktësi instrumentesh
1. Përdorimi i lazerit UV me fuqi të lartë dhe me qëndrueshmëri të lartë për të hequr drejtpërdrejt materialin e gazifikimit, me një hapje përpunimi në nivel μm dhe një zonë të prekur nga nxehtësia në nivel μm;
2. Kontrolli me shpejtësi të lartë dhe me saktësi të lartë të devijimit të rrezes përmes galvanometrave precize të importuar për të arritur përpunimin e mikro-vrimave me saktësi të formatit të vogël me shpejtësi të lartë;
3. Përpunimi i mikro-vrimave me format të madh me shpejtësi të lartë dhe me saktësi të lartë realizohet nga përkthimi i platformës motorike lineare me shpejtësi të lartë në nivel mikron;
4. Boshti Z është i rregullueshëm elektrikisht për t'u përshtatur me materiale me trashësi të ndryshme dhe për të përmbushur kërkesat specifike të përpunimit të vrimave konike;
5. Kamera industriale me rezolucion super të boshtit të rrezes përdoret për korrigjimin e gabimit në kornizë të plotë të galvanometrit, fokusimin me precizion ultra të lartë dhe matjen në internet për të siguruar stabilitetin dhe saktësinë afatgjatë të sistemit;
6. Sistemi miraton tavolina mermeri për të përmirësuar stabilitetin e përgjithshëm të sistemit dhe të gjithë përbërësit mekanikë janë zgjedhur me kujdes për të siguruar saktësi afatgjatë;
7. Diametri minimal i mikroporeve të përpunimit është 5μm, saktësia e përgjithshme e përpunimit është ±4μm, saktësia e veçorisë lokale është më pak se 3μm dhe gjerësia e përpunimit është 300*300mm;
8. Përdoret për mikropërpunimin me saktësi të metaleve, qeramikës, vaferave të silikonit, qelqit, organikës dhe materialeve të tjera, si përpunimi me mikro-vrima dhe prerja me saktësi.
Krahasuar me përpunimin me mikro-vrima EDM, shpimin mekanik, korrozionin kimik, shpimin mekanik, etj., Përpunimi me mikro-vrima me saktësi lazer ka përparësitë e mëposhtme:
Shpejtësi e lartë (deri në 4000 vrima në sekondë)
Precizion i lartë (<3μm)
Nuk ka kufizime materiale (metale, qeramika, vafera silikoni, organikë, etj.)
Modeli i vrimave të programueshme (minimumi 5μm, vrimë konike specifike)
Shpërndarja mund të personalizohet (gjerësia e përpunimit 300mm*300mm), nuk kërkohet myk dhe maskë
Pa ndotje dhe pa lëndë harxhuese
përpunimi i drejtpërdrejtë
Artikuj | Parametri | FM-UVM3A | FM-UVM3B |
Laser | valë | 355 nm | |
Fuqia | (3W@40kHz (3-40W opsionale) | ||
frekuencë moduluese | 1 ~ 200 kHz | ||
Gjerësia e pulsit | 15 ns@40 kHz | ||
cilësia e rrezeve | <1.2 | ||
Galvo | Skanoni zonën | <50*50 mm | <15 * 15 mm |
Saktësia e përsëritshmërisë | <1 um | ||
Saktësia e pozicionimit | ≤±3um | ||
tabelat XY | Udhëtim | 300*300mm (600*600mm opsionale) | |
Rezolucioni i pozicionimit | 0.1um | ||
Saktësia e përsëritshmërisë | ≤±1um | ||
Saktësia e pozicionimit | ≤±3um | ||
Nxitimi | ≤1 G | ||
Shpejtësia | ≤200 mm/s | ||
boshti Z | Udhëtim | 150 mm | |
Saktësia e përsëritshmërisë | ≤±3um | ||
Saktësia e pozicionimit | ≤±5um | ||
Pozicionimi i monitorimit të CCD | Kamera | pesë megapikselë | |
Zmadhimi optik | 10X | ||
bashkimi i rajonit | saktësi | ±3μm | |
Përpunimi | Vendi minimal | 8 um | 5 um |
Saktësia e përpunimit të vrimave | ±5um | ||
Saktësia e përsëritshmërisë | ≤±1um | ||
Materialet e disponueshme për përpunim | Qelqi, organika, metalet, qeramika etj. | ||
Aplikimi GGGGA | Shishe tub | ok | mirë |
shishe die | ok | mirë | |
Shishe plastike | jo mirë | ok | |
Çanta të buta | Nuk disponohet | ok | |
Sistemi i ftohësit | Ftohës uji (kapaciteti ftohës 1500 W) | ||
Furnizimi me energji elektrike | 220V, 50~60HZ, 1fazor ose i personalizuar | ||
Fuqia | ≤2000W | ||
Masa (mm) | 1200*1200*1900 mm | ||
Pesha (KG) | 1200 kg |
Shënim: Temperatura konstante (25±0,5℃), e marrë pas ngrohjes paraprake për 30 minuta