Laserový perforačný stroj Micropore pre polovodiče

Minimálny priemer mikropórov spracovania je 5 μm, celková presnosť spracovania je ± 4 μm, presnosť lokálnych prvkov je menšia ako 3 μm a šírka spracovania je 300 x 300 mm..

Používa sa hlavne na: výrobu mikroelektronických zariadení, prípravu tlačových šablón, prípravu biočipov, presné tvarovanie foriem, výrobu presných dielov na prístrojové vybavenie

1. Použitie vysokovýkonného a vysokostabilného UV lasera na priame odstraňovanie splyňovacieho materiálu s otvorom na spracovanie na úrovni μm a zónou ovplyvnenou teplom na úrovni μm;

2. Vysokorýchlostné a vysoko presné riadenie vychýlenia lúča prostredníctvom dovážaných presných galvanometrov na dosiahnutie vysokorýchlostného presného spracovania mikrootvorov v malom formáte;

3. Vysokorýchlostné a vysoko presné veľkoformátové spracovanie mikrootvorov sa realizuje prekladom platformy vysokorýchlostného lineárneho motora na mikrónovej úrovni;

4. Os Z je elektricky nastaviteľná, aby sa prispôsobila materiálom rôznych hrúbok a splnila špecifické požiadavky na spracovanie kužeľových otvorov;

5. Priemyselná kamera s vysokým rozlíšením osi rozsahu sa používa na korekciu chýb galvanometra na plný rám, ultra-vysoko presné zaostrovanie a online meranie na zabezpečenie dlhodobej stability a presnosti systému;

6. Systém využíva mramorové dosky na zlepšenie celkovej stability systému a všetky mechanické komponenty sú starostlivo vybrané, aby sa zabezpečila dlhodobá presnosť;

7. Minimálny priemer mikropórov spracovania je 5 μm, celková presnosť spracovania je ± 4 μm, presnosť miestnych funkcií je menšia ako 3 μm a šírka spracovania je 300 x 300 mm;

8. Používa sa na presné mikroobrábanie kovov, keramiky, kremíkových doštičiek, skla, organických a iných materiálov, ako je spracovanie mikrootvorov a presné rezanie.

V porovnaní s EDM spracovaním mikrootvorov, mechanickým vŕtaním, chemickou koróziou, mechanickým dierovaním atď., laserové presné obrábanie mikrootvorov má nasledujúce výhody:

Vysoká rýchlosť (až 4000 otvorov za sekundu)

Vysoká presnosť (<3μm)

Žiadne materiálové obmedzenia (kovy, keramika, kremíkové doštičky, organické látky atď.)

Programovateľný vzor otvorov (minimálne 5μm, špecifický kužeľový otvor)

Distribúciu je možné prispôsobiť (šírka spracovania 300 mm * 300 mm), nie je potrebná žiadna forma a maska

Žiadne znečistenie a žiadny spotrebný materiál

priame spracovanie

Poznámka: Konštantná teplota (25±0,5℃), dosiahnutá po 30 minútach predhrievania