අර්ධ සන්නායක සඳහා මයික්‍රොපෝර් ලේසර් සිදුරු යන්ත්රය
අවම සැකසුම් මයික්‍රොපෝර විෂ්කම්භය 5μm වේ, සමස්ත සැකසුම් නිරවද්‍යතාවය ±4μm වේ, දේශීය ලක්ෂණ නිරවද්‍යතාවය 3μm ට අඩු වන අතර සැකසුම් පළල 300*300mm වේ..
ප්‍රධාන වශයෙන් භාවිතා වන්නේ: ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග නිෂ්පාදනය, මුද්‍රණ අච්චු සකස් කිරීම, ජෛව චිප් සකස් කිරීම, නිරවද්‍ය අච්චු සෑදීම, උපකරණ නිරවද්‍ය කොටස් නිෂ්පාදනය
1. μm මට්ටමේ සැකසුම් විවරය සහ μm මට්ටමේ තාප බලපෑමට ලක් වූ කලාපයක් සහිත වායුකාරක ද්රව්ය සෘජුවම ඉවත් කිරීම සඳහා අධි බල සහ අධි-ස්ථායී UV ලේසර් භාවිතා කිරීම;
2. අධිවේගී කුඩා ආකෘතියේ නිරවද්‍ය ක්ෂුද්‍ර සිදුරු සැකසීම සඳහා ආනයනය කරන ලද නිරවද්‍ය ගැල්වනෝමීටර හරහා කදම්භ අපගමනය අධි-වේග සහ අධි-නිරවද්‍ය පාලනය;
3. මයික්‍රෝන මට්ටමේ අධිවේගී රේඛීය මෝටර් වේදිකාවේ පරිවර්ථනය මගින් අධිවේගී සහ අධි-නිරවද්‍ය විශාල-ආකෘතියේ ක්ෂුද්‍ර සිදුරු සැකසීම සාක්ෂාත් කරගනු ලැබේ;
4. Z-අක්ෂය විවිධ ඝනකම ඇති ද්‍රව්‍යවලට අනුවර්තනය වීමට සහ නිශ්චිත ටේපර් සිදුරු සැකසුම් අවශ්‍යතා සපුරාලීමට විද්‍යුත් වශයෙන් වෙනස් කළ හැකිය;
5. පරාසයේ අක්ෂය සුපිරි විභේදන කාර්මික කැමරාව ගැල්වනෝමීටරයේ සම්පූර්ණ රාමු දෝෂ නිවැරදි කිරීම, අතිශය-ඉහළ-නිරවද්‍ය අවධානය යොමු කිරීම සහ පද්ධතියේ දිගුකාලීන ස්ථාවරත්වය සහ නිරවද්‍යතාවය සහතික කිරීම සඳහා මාර්ගගත මිනුම් සඳහා භාවිතා කරයි;
6. පද්ධතියේ සමස්ත ස්ථායීතාවය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා පද්ධතිය කිරිගරුඬ කවුන්ටර භාවිතා කරන අතර, දිගු කාලීන නිරවද්‍යතාවය සහතික කිරීම සඳහා සියලුම යාන්ත්‍රික සංරචක ප්‍රවේශමෙන් තෝරා ගනු ලැබේ;
7. අවම සැකසුම් මයික්‍රොපෝර විෂ්කම්භය 5μm වේ, සමස්ත සැකසුම් නිරවද්‍යතාවය ±4μm වේ, දේශීය ලක්ෂණ නිරවද්‍යතාවය 3μm ට අඩු වන අතර, සැකසුම් පළල 300*300mm;
8. එය ලෝහ, පිඟන් මැටි, සිලිකන් වේෆර්, වීදුරු, කාබනික සහ අනෙකුත් ද්රව්ය, එනම් ක්ෂුද්‍ර සිදුරු සැකසීම සහ නිරවද්‍ය කැපීම වැනි නිරවද්‍ය ක්ෂුද්‍ර යන්ත්ර සැකසීම සඳහා යොදා ගනී.
EDM ක්ෂුද්‍ර සිදුරු සැකසීම, යාන්ත්‍රික විදීම, රසායනික විඛාදනය, යාන්ත්‍රික සිදුරු කිරීම යනාදිය සමඟ සසඳන විට, ලේසර් නිරවද්‍ය ක්ෂුද්‍ර සිදුරු යන්ත්‍රකරණයට පහත වාසි ඇත:
අධික වේගය (තත්පරයට සිදුරු 4000 දක්වා)
ඉහළ නිරවද්‍යතාවය (<3μm)
ද්‍රව්‍යමය සීමාවන් නොමැත (ලෝහ, පිඟන් මැටි, සිලිකන් වේෆර්, කාබනික ද්රව්ය ආදිය)
වැඩසටහන්ගත කළ හැකි සිදුරු රටාව (අවම 5μm, නිශ්චිත ටේපර් කුහරය)
බෙදා හැරීම අභිරුචිකරණය කළ හැක (සැකසුම් පළල 300mm*300mm), අච්චුවක් සහ වෙස් මුහුණක් අවශ්‍ය නොවේ
දූෂණය සහ පරිභෝජන ද්රව්ය නැත
සෘජු සැකසුම්
| අයිතම | පරාමිතිය | FM-UVM3A | FM-UVM3B |
| ලේසර් | රැල්ල | 355nm | |
| බලය | ＞3W@40kHz (3-40W විකල්ප) | ||
| සංඛ්යාතය වෙනස් කිරීම | 1~200kHz | ||
| ස්පන්දන පළල | 15ns@40kHz | ||
| කදම්භයේ ගුණාත්මකභාවය | ＜1.2 | ||
| ගැල්වෝ | ස්කෑන් ප්රදේශය | 50 * 50 මි.මී | ＜15*15 මි.මී |
| පුනරාවර්තන නිරවද්යතාව | ජම්1 උ | ||
| ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය | ≤±3um | ||
| XY වගු | ගමන් | 300*300mm (600*600mm විකල්ප) | |
| ස්ථානගත කිරීමේ විභේදනය | 0.1um | ||
| පුනරාවර්තන නිරවද්යතාව | ≤±1um | ||
| ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය | ≤±3um | ||
| ත්වරණය | ≤1G | ||
| වේගය | ≤200mm/s | ||
| Z අක්ෂය | ගමන් | 150 මි.මී | |
| පුනරාවර්තන නිරවද්යතාව | ≤±3um | ||
| ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය | ≤±5um | ||
| CCD අධීක්ෂණ ස්ථානගත කිරීම | කැමරා | මෙගාපික්සල් පහක් | |
| ඔප්ටිකල් විශාලනය | 10X | ||
| කලාපය බෙදීම | නිරවද්යතාව | ±3μm | |
| සැකසීම | අවම ස්ථානය | 8um | 5um |
| සිදුරු සැකසීමේ නිරවද්‍යතාවය | ±5um | ||
| පුනරාවර්තන නිරවද්යතාව | ≤±1um | ||
| සැකසීම සඳහා පවතින ද්රව්ය | වීදුරු, කාබනික, ලෝහ, පිඟන් මැටි ආදිය. | ||
| GGGGA යෙදුම | පයිප්ප බෝතලය | ok | යහපත |
| මැරෙන බෝතලය | ok | යහපත | |
| ප්ලාස්ටික් බෝතලයක් | හොඳ නැහැ | ok | |
| මෘදු බෑග් | ලබා ගත නොහැක | ok | |
| සිසිලන පද්ධතිය | ජල සිසිලනකාරකය (1500W සිසිලන ධාරිතාව) | ||
| බල සැපයුම | 220V, 50~60HZ, 1 අදියර හෝ අභිරුචිකරණය | ||
| බලය | ≤2000W | ||
| මිනුම (මි.මී.) | 1200 * 1200 * 1900 මි.මී | ||
| බර (KG) | 1200Kg | ||
සටහන: නියත උෂ්ණත්වය (25±0.5℃), මිනිත්තු 30කට පෙර රත් කිරීමෙන් පසු ලබා ගන්නා ලදී
