سيمي ڪنڊڪٽر لاءِ مائڪروپور ليزر پرفوريشن مشين
گھٽ ۾ گھٽ پروسيسنگ مائڪروپور قطر 5μm آھي، مجموعي پروسيسنگ جي درستگي ± 4μm آھي، مقامي خصوصيت جي درستگي 3μm کان گھٽ آھي، ۽ پروسيسنگ ويڪر 300 * 300mm آھي..
بنيادي طور تي استعمال ڪيو ويو: مائڪرو اليڪٽرانڪ ڊيوائس جي پيداوار، ڇپائي ٽيمپليٽ تيار ڪرڻ، بايوچپ تيار ڪرڻ، درست نموني ٺهڻ، اوزار جي صحت واري حصن جي پيداوار
1. اعلي طاقت ۽ اعلي استحڪام يو وي ليزر استعمال ڪندي سڌو سنئون گيسائيشن مواد کي ختم ڪرڻ لاء، هڪ μm-سطح پروسيسنگ ايپرچر ۽ μm-سطح جي گرمي متاثر ٿيل زون سان؛
2. تيز رفتار ۽ تيز-سڌائي وارو ڪنٽرول بيم جي گھٽتائي جو درآمد ٿيل سڌريل galvanometers ذريعي تيز رفتار ننڍي فارميٽ جي درستي واري مائڪرو سوراخ پروسيسنگ حاصل ڪرڻ لاءِ؛
3. تيز رفتار ۽ اعلي سڌائي وڏي فارميٽ مائڪرو سوراخ پروسيسنگ micron-سطح تيز رفتار لڪير موٽر پليٽ فارم جي ترجمي جي ذريعي محسوس ڪيو ويو آهي؛
4. Z-axis مختلف ٿلهي جي مواد کي ترتيب ڏيڻ ۽ مخصوص ٽيپر سوراخ پروسيسنگ گهرجن کي پورو ڪرڻ لاء برقي طور تي ترتيب ڏيڻ وارو آهي؛
5. رينج جو محور سپر ريزوليوشن صنعتي ڪيمرا استعمال ڪيو ويندو آهي مڪمل فريم جي غلطي کي درست ڪرڻ لاءِ گلانوميٽر، الٽرا هاءِ پريڪيشن فوڪسنگ، ۽ آن لائن ماپنگ سسٽم جي ڊگھي مدت جي استحڪام ۽ درستگي کي يقيني بڻائڻ لاءِ؛
6. سسٽم جي مجموعي استحڪام کي بهتر ڪرڻ لاء سنگ مرمر countertops کي اپنائڻ، ۽ سڀني مشيني حصن کي احتياط سان چونڊيو ويو آهي ڊگهي مدت جي درستگي کي يقيني بڻائڻ لاء؛
7. گھٽ ۾ گھٽ پروسيسنگ مائڪروپور قطر 5μm آهي، مجموعي پروسيسنگ جي درستگي ± 4μm آهي، مقامي خاصيت جي درستگي 3μm کان گهٽ آهي، ۽ پروسيسنگ ويڪر 300 * 300mm آهي؛
8. اهو دھات، سيرامڪس، سلڪون ويفرز، گلاس، آرگنائيڪس ۽ ٻين مواد جي درست مائڪرو مشيننگ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي، جهڙوڪ مائڪرو سوراخ پروسيسنگ ۽ درست ڪٽڻ.
EDM مائڪرو سوراخ پروسيسنگ، مشيني سوراخ ڪرڻ، ڪيميائي corrosion، مشيني ڇنڊڇاڻ، وغيره جي مقابلي ۾، ليزر جي سڌائي مائڪرو سوراخ مشينن هيٺ ڏنل فائدا آهن:
تيز رفتار (4000 سوراخ في سيڪنڊ تائين)
اعلي سڌائي (<3μm)
ڪابه مادي پابنديون ناهي (ڌات، سيرامڪس، سلڪون ويفرز، نامياتي، وغيره)
پروگراميبل سوراخ جو نمونو (گهٽ ۾ گهٽ 5μm، مخصوص ٽيپر سوراخ)
تقسيم کي ترتيب ڏئي سگهجي ٿو (پروسيسنگ ويڪر 300mm * 300mm)، ڪابه ٺهيل ۽ ماسڪ گهربل ناهي
ڪابه آلودگي نه آهي ۽ نه استعمال ٿيندڙ
سڌو پروسيسنگ
| شيون | پيرا ميٽر | FM-UVM3A | FM-UVM3B |
| ليزر | موج | 355nm | |
| طاقت | ＞3W@40kHz (3-40W اختياري) | ||
| modulating تعدد | 1~200kHz | ||
| نبض جي ويڪر | 15ns@40kHz | ||
| بيم جي معيار | 1.2 | ||
| گالو | اسڪين ايريا | ~ 50 * 50mm | 15 * 15mm |
| Repeatability جي درستگي | 1 ايم | ||
| پوزيشن جي درستگي | ≤±3um | ||
| XY ٽيبل | سفر | 300 * 300mm (600 * 600mm اختياري) | |
| پوزيشن جي قرارداد | 0.1 ايم | ||
| Repeatability جي درستگي | ≤±1um | ||
| پوزيشن جي درستگي | ≤±3um | ||
| تڪڙ | ≤1 جي | ||
| رفتار | ≤200mm/s | ||
| Z محور | سفر | 150mm | |
| Repeatability جي درستگي | ≤±3um | ||
| پوزيشن جي درستگي | ≤±5um | ||
| سي سي ڊي مانيٽرنگ پوزيشن | ڪئميرا | پنج ميگا پڪسل | |
| بصري واڌارو | 10X | ||
| علائقي جي تقسيم | درستگي | ±3μm | |
| پروسيسنگ | گھٽ ۾ گھٽ جڳھ | 8 ايم | 5 ايم |
| سوراخ پروسيسنگ جي درستگي | ±5 ايم | ||
| Repeatability جي درستگي | ≤±1um | ||
| پروسيسنگ لاء موجود مواد | شيشي، نامياتي، ڌاتو، سيرامڪس، وغيره. | ||
| GGGGA ايپليڪيشن | پائپ جي بوتل | ok | سٺو |
| مرڻ جي بوتل | ok | سٺو | |
| پلاسٽڪ جي بوتل | سٺو ناهي | ok | |
| نرم بيگ | دستياب ناهي | ok | |
| کولنٽ سسٽم | پاڻي ٿڌو (1500W ٿڌي گنجائش) | ||
| بجلي جي فراهمي | 220V، 50 ~ 60HZ، 1 مرحلو يا ترتيب ڏنل | ||
| طاقت | ≤2000W | ||
| ماپ (ايم ايم) | 1200*1200*1900mm | ||
| وزن (KG) | 1200 ڪلوگرام | ||
نوٽ: مسلسل گرمي پد (25 ± 0.5 ℃)، 30 منٽن لاء گرم ڪرڻ کان پوء حاصل ڪيو
