Micropore Laser Perforeringsmaskin for halvledere

Minste behandlingsmikroporediameter er 5μm, den totale prosesseringsnøyaktigheten er ±4μm, den lokale funksjonsnøyaktigheten er mindre enn 3μm, og behandlingsbredden er 300*300mm..

Brukes hovedsakelig til: produksjon av mikroelektroniske enheter, klargjøring av utskriftsmaler, forberedelse av biobrikker, presisjonsforming, produksjon av instrumentering av presisjonsdeler

1. Bruke UV-laser med høy effekt og høy stabilitet for å fjerne gassifiseringsmaterialet direkte, med en prosesseringsåpning på μm-nivå og en varmepåvirket sone på μm-nivå;

2. Høyhastighets- og høypresisjonskontroll av stråleavbøyning gjennom importerte presisjonsgalvanometre for å oppnå høyhastighets småformat presisjon mikrohullbehandling;

3. Høyhastighets og høypresisjon storformat mikrohullsbehandling realiseres ved oversettelsen av mikron-nivå høyhastighets lineær motorplattform;

4. Z-aksen er elektrisk justerbar for å tilpasse seg materialer med forskjellige tykkelser og for å møte spesifikke krav til behandling av koniske hull;

5. Avstandsaksen med superoppløsning industrikamera brukes for full-frame feilkorrigering av galvanometeret, ultra-høy presisjon fokusering og online måling for å sikre langsiktig stabilitet og nøyaktighet av systemet;

6. Systemet bruker marmorbenkeplater for å forbedre systemets generelle stabilitet, og alle mekaniske komponenter er nøye utvalgt for å sikre langsiktig nøyaktighet;

7. Minste behandlingsmikroporediameter er 5μm, den totale prosesseringsnøyaktigheten er ±4μm, den lokale funksjonsnøyaktigheten er mindre enn 3μm, og behandlingsbredden er 300*300mm;

8. Den brukes til presisjonsmikrobearbeiding av metaller, keramikk, silisiumskiver, glass, organiske og andre materialer, for eksempel mikrohullbehandling og presisjonsskjæring.

Sammenlignet med EDM-mikrohullsbehandling, mekanisk boring, kjemisk korrosjon, mekanisk stansing, etc., har laserpresisjonsmikrohullsmaskinering følgende fordeler:

Høy hastighet (opptil 4000 hull per sekund)

Høy presisjon (<3μm)

Ingen materialbegrensninger (metaller, keramikk, silisiumskiver, organiske materialer, etc.)

Programmerbart hullmønster (minimum 5μm, spesifikt konisk hull)

Distribusjonen kan tilpasses (behandlingsbredde 300 mm * 300 mm), ingen form og maske kreves

Ingen forurensning og ingen forbruksvarer

direkte behandling

Merk: Konstant temperatur (25±0,5 ℃), oppnådd etter forvarming i 30 minutter