Micropore laserperforatiemachine voor halfgeleiders

De minimale verwerkingsmicroporiediameter is 5 μm, de algehele verwerkingsnauwkeurigheid is ± 4 μm, de nauwkeurigheid van de lokale kenmerken is minder dan 3 μm en de verwerkingsbreedte is 300 * 300 mm..

Hoofdzakelijk gebruikt voor: productie van micro-elektronische apparaten, voorbereiding van druksjablonen, voorbereiding van biochips, precisievormvorming, productie van precisieonderdelen voor instrumentatie

1. Gebruik van een krachtige en zeer stabiele UV-laser om het vergassingsmateriaal direct te ablateren, met een verwerkingsopening op μm-niveau en een door hitte beïnvloede zone op μm-niveau;

2. Hoge snelheid en uiterst nauwkeurige controle van de straalafbuiging door geïmporteerde precisiegalvanometers om snelle verwerking van kleine precisiemicrogaten te bereiken;

3. Hoge snelheid en hoge precisie grootformaat micro-gatverwerking wordt gerealiseerd door de vertaling van het snelle lineaire motorplatform op micronniveau;

4. De Z-as is elektrisch verstelbaar om zich aan te passen aan materialen van verschillende diktes en om te voldoen aan specifieke vereisten voor de verwerking van tapse gaten;

5. De industriële camera met superresolutie met bereikas wordt gebruikt voor full-frame foutcorrectie van de galvanometer, ultrahoge precisiescherpstelling en online metingen om de stabiliteit en nauwkeurigheid van het systeem op lange termijn te garanderen;

6. Het systeem maakt gebruik van marmeren werkbladen om de algehele stabiliteit van het systeem te verbeteren, en alle mechanische componenten zijn zorgvuldig geselecteerd om nauwkeurigheid op de lange termijn te garanderen;

7. De minimale verwerkingsmicroporiediameter is 5 μm, de algehele verwerkingsnauwkeurigheid is ± 4 μm, de nauwkeurigheid van de lokale kenmerken is minder dan 3 μm en de verwerkingsbreedte is 300 * 300 mm;

8. Het wordt gebruikt voor precisie-microbewerking van metalen, keramiek, siliciumwafels, glas, organische stoffen en andere materialen, zoals micro-gatverwerking en precisiesnijden.

Vergeleken met EDM-bewerking van microgaten, mechanisch boren, chemische corrosie, mechanisch ponsen, enz., Heeft laserprecisiebewerking van microgaten de volgende voordelen:

Hoge snelheid (tot 4000 gaten per seconde)

Hoge precisie (<3μm)

Geen materiële beperkingen (metalen, keramiek, siliciumwafels, organische stoffen, enz.)

Programmeerbaar gatenpatroon (minimaal 5μm, specifiek conisch gat)

De distributie kan worden aangepast (verwerkingsbreedte 300 mm * 300 mm), geen mal en masker vereist

Geen vervuiling en geen verbruiksartikelen

directe verwerking

Opmerking: constante temperatuur (25 ± 0,5 ℃), verkregen na 30 minuten voorverwarmen