Micropore Laser Perforation Machine għal semikondutturi

Id-dijametru minimu tal-mikropori tal-ipproċessar huwa 5μm, l-eżattezza ġenerali tal-ipproċessar hija ± 4μm, il-preċiżjoni tal-karatteristika lokali hija inqas minn 3μm, u l-wisa 'ta' l-ipproċessar hija 300 * 300mm..

Prinċipalment użat għal: manifattura ta 'apparat mikroelettroniku, preparazzjoni ta' mudell ta 'stampar, preparazzjoni ta' bijoċipp, formazzjoni ta 'moffa ta' preċiżjoni, manifattura ta 'partijiet ta' preċiżjoni ta 'strumentazzjoni

1. L-użu ta 'lejżer UV ta' qawwa għolja u ta 'stabbiltà għolja biex jabla direttament il-materjal tal-gassifikazzjoni, b'apertura ta' proċessar ta 'livell μm u żona affettwata mis-sħana ta' livell μm;

2. Kontroll b'veloċità għolja u ta 'preċiżjoni għolja tad-deflessjoni tar-raġġ permezz ta' galvanometri ta 'preċiżjoni importati biex jinkiseb proċessar ta' mikro-toqba ta 'preċiżjoni ta' format żgħir b'veloċità għolja;

3. L-ipproċessar tal-mikro-toqba ta 'format kbir ta' veloċità għolja u ta 'preċiżjoni għolja huwa realizzat bit-traduzzjoni tal-pjattaforma tal-mutur lineari ta' livell mikron ta 'veloċità għolja;

4. L-assi Z huwa aġġustabbli elettrikament biex jadatta għal materjali ta 'ħxuna differenti u biex jissodisfa rekwiżiti speċifiċi ta' proċessar ta 'toqba taper;

5. Il-kamera industrijali b'super-riżoluzzjoni tal-fus tal-firxa tintuża għall-korrezzjoni ta 'żbalji full-frame tal-galvanometru, iffukar ta' preċiżjoni ultra-għolja, u kejl onlajn biex tiżgura l-istabbiltà u l-eżattezza fit-tul tas-sistema;

6. Is-sistema tadotta countertops tal-irħam biex ittejjeb l-istabbiltà ġenerali tas-sistema, u l-komponenti mekkaniċi kollha jintgħażlu bir-reqqa biex jiżguraw preċiżjoni fit-tul;

7. Id-dijametru minimu tal-mikropori tal-ipproċessar huwa 5μm, l-eżattezza ġenerali tal-ipproċessar hija ± 4μm, il-preċiżjoni tal-karatteristika lokali hija inqas minn 3μm, u l-wisa 'ta' l-ipproċessar hija 300 * 300mm;

8. Jintuża għal micromachining ta 'preċiżjoni ta' metalli, ċeramika, wejfers tas-silikon, ħġieġ, organiċi u materjali oħra, bħall-ipproċessar ta 'mikro-toqba u qtugħ ta' preċiżjoni.

Meta mqabbel ma 'l-ipproċessar ta' mikro-toqba EDM, tħaffir mekkaniku, korrużjoni kimika, ippanċjar mekkaniku, eċċ., Makkinar ta 'mikro-toqba ta' preċiżjoni bil-lejżer għandu l-vantaġġi li ġejjin:

Veloċità għolja (sa 4000 toqba kull sekonda)

Preċiżjoni għolja (<3μm)

Ebda restrizzjonijiet materjali (metalli, ċeramika, wejfers tas-silikon, organiċi, eċċ.)

Mudell tat-toqba programmabbli (minimu 5μm, toqba taper speċifika)

Id-distribuzzjoni tista 'tkun personalizzata (wisa' tal-ipproċessar 300mm * 300mm), l-ebda moffa u maskra meħtieġa

L-ebda tniġġis u l-ebda konsumabbli

ipproċessar dirett

Nota: Temperatura kostanti (25±0.5℃), miksuba wara tisħin minn qabel għal 30 minuta