Mikroporu lāzera perforācijas mašīna pusvadītājiem

Minimālais apstrādes mikroporu diametrs ir 5 μm, kopējā apstrādes precizitāte ir ± 4 μm, vietējās funkcijas precizitāte ir mazāka par 3 μm un apstrādes platums ir 300 * 300 mm..

Galvenokārt izmanto: mikroelektronisko ierīču ražošanai, drukas veidņu sagatavošanai, biočipu sagatavošanai, precīzai veidņu veidošanai, instrumentu precīzu detaļu ražošanai

1. Izmantojot lieljaudas un augstas stabilitātes UV lāzeru, lai tieši ablētu gazifikācijas materiālu, ar μm līmeņa apstrādes apertūru un μm līmeņa siltuma ietekmēto zonu;

2. Ātrgaitas un augstas precizitātes staru novirzes kontrole, izmantojot importētos precīzijas galvanometrus, lai panāktu ātrgaitas maza formāta precīzu mikro caurumu apstrādi;

3. Ātrgaitas un augstas precizitātes lielformāta mikro caurumu apstrāde tiek realizēta, pārveidojot mikronu līmeņa ātrgaitas lineāro motoru platformu;

4. Z-ass ir elektriski regulējama, lai pielāgotos dažāda biezuma materiāliem un atbilstu īpašām konusveida caurumu apstrādes prasībām;

5. Diapazona ass superizšķirtspējas rūpnieciskā kamera tiek izmantota galvanometra pilna kadra kļūdu korekcijai, īpaši augstas precizitātes fokusēšanai un tiešsaistes mērījumiem, lai nodrošinātu sistēmas ilgtermiņa stabilitāti un precizitāti;

6. Sistēma izmanto marmora virsmas, lai uzlabotu sistēmas vispārējo stabilitāti, un visas mehāniskās sastāvdaļas ir rūpīgi atlasītas, lai nodrošinātu ilgtermiņa precizitāti;

7. Minimālais apstrādes mikroporu diametrs ir 5 μm, kopējā apstrādes precizitāte ir ± 4 μm, vietējās funkcijas precizitāte ir mazāka par 3 μm, un apstrādes platums ir 300 * 300 mm;

8. To izmanto metālu, keramikas, silīcija plātņu, stikla, organisko vielu un citu materiālu precīzai mikroapstrādei, piemēram, mikro caurumu apstrādei un precīzai griešanai.

Salīdzinājumā ar EDM mikrocaurumu apstrādi, mehānisko urbšanu, ķīmisko koroziju, mehānisko štancēšanu utt., Lāzera precizitātes mikro caurumu apstrādei ir šādas priekšrocības:

Liels ātrums (līdz 4000 caurumiem sekundē)

Augsta precizitāte (<3 μm)

Nav materiālu ierobežojumu (metāli, keramika, silīcija plāksnes, organiskās vielas utt.)

Programmējams caurumu raksts (vismaz 5 μm, īpašs konusveida caurums)

Izplatīšanu var pielāgot (apstrādes platums 300 mm * 300 mm), nav nepieciešama veidne un maska

Bez piesārņojuma un bez palīgmateriāliem

tieša apstrāde

Piezīme: Pastāvīga temperatūra (25±0,5℃), kas iegūta pēc 30 minūšu iepriekšējas uzsildīšanas