Micropore Laser Perforation ເຄື່ອງສໍາລັບ semiconductor

ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ micropore ການປຸງແຕ່ງຕໍາ່ສຸດແມ່ນ 5μm, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການປຸງແຕ່ງໂດຍລວມແມ່ນ ± 4μm, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຄຸນສົມບັດທ້ອງຖິ່ນແມ່ນຫນ້ອຍກວ່າ 3μm, ແລະຄວາມກວ້າງຂອງການປຸງແຕ່ງແມ່ນ 300 * 300 ມມ..

ຕົ້ນຕໍແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບ: ການຜະລິດອຸປະກອນຈຸນລະພາກເອເລັກໂຕຣນິກ, ການກະກຽມແມ່ແບບການພິມ, ການກະກຽມ biochip, ກອບເປັນຈໍານວນ mold ຄວາມແມ່ນຍໍາ, ການຜະລິດພາກສ່ວນຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງເຄື່ອງມື

1. ການນໍາໃຊ້ເລເຊີ UV ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງເພື່ອທໍາລາຍທາດອາຍແກັສໂດຍກົງ, ມີຮູຮັບແສງການປຸງແຕ່ງລະດັບμmແລະເຂດທີ່ໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຈາກຄວາມຮ້ອນໃນລະດັບμm;

2. ການຄວບຄຸມຄວາມໄວສູງແລະຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງ deflection beam ຜ່ານ galvanometers ຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ນໍາເຂົ້າເພື່ອບັນລຸການປຸງແຕ່ງ micro-hole ຄວາມແມ່ນຍໍາຄວາມໄວສູງຮູບແບບຂະຫນາດນ້ອຍ;

3. ການປຸງແຕ່ງຮູຈຸນລະພາກຂະຫນາດໃຫຍ່ທີ່ມີຄວາມໄວສູງແລະຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແມ່ນຮັບຮູ້ໂດຍການແປຂອງເວທີມໍເຕີເສັ້ນຄວາມໄວສູງລະດັບ micron;

4. ແກນ Z ແມ່ນສາມາດປັບໄຟຟ້າເພື່ອປັບຕົວເຂົ້າກັບວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຫນາທີ່ແຕກຕ່າງກັນແລະຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການການປຸງແຕ່ງຮູ taper ສະເພາະ;

5. The range axis super-resolution industrial camera is used for full-frame error correction of the galvanometer, ultra-high-precision focusing, ແລະການວັດແທກອອນໄລນ໌ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງລະບົບ;

6. ລະບົບຮັບຮອງເອົາ countertops marble ເພື່ອປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງໂດຍລວມຂອງລະບົບ, ແລະອົງປະກອບກົນຈັກທັງຫມົດໄດ້ຖືກຄັດເລືອກຢ່າງລະມັດລະວັງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງໃນໄລຍະຍາວ;

7. ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ micropore ການປຸງແຕ່ງຕໍາ່ສຸດແມ່ນ 5μm, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການປຸງແຕ່ງໂດຍລວມແມ່ນ± 4μm, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຄຸນນະສົມບັດທ້ອງຖິ່ນແມ່ນຫນ້ອຍກວ່າ 3μm, ແລະຄວາມກວ້າງຂອງການປຸງແຕ່ງແມ່ນ 300 * 300mm;

8. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບ micromachining ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງໂລຫະ, ເຊລາມິກ, wafers ຊິລິຄອນ, ແກ້ວ, ອິນຊີແລະອຸປະກອນອື່ນໆ, ເຊັ່ນ: ການປຸງແຕ່ງ micro-ຂຸມແລະຄວາມແມ່ນຍໍາ.

ເມື່ອປຽບທຽບກັບການປຸງແຕ່ງ EDM micro-hole, ການເຈາະກົນຈັກ, corrosion ເຄມີ, punching ກົນຈັກ, ແລະອື່ນໆ, laser precision micro-hole machining ມີຂໍ້ດີດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

ຄວາມໄວສູງ (ເຖິງ 4000 ຮູຕໍ່ວິນາທີ)

ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ (<3μm)

ບໍ່ມີຂໍ້ຈໍາກັດດ້ານວັດສະດຸ (ໂລຫະ, ເຊລາມິກ, ຊິລິຄອນ wafers, ອິນຊີ, ແລະອື່ນໆ)

ຮູບ​ແບບ​ຂຸມ​ທີ່​ຕັ້ງ​ໂຄງ​ການ (ຕໍາ​່​ສຸດ​ທີ່ 5μm​, ຮູ taper ສະ​ເພາະ​)

ການແຈກຢາຍສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ (ຄວາມກວ້າງຂອງການປຸງແຕ່ງ 300mm * 300mm), ບໍ່ຈໍາເປັນຕ້ອງ mold ແລະຫນ້າກາກ.

ບໍ່ມີມົນລະພິດແລະບໍ່ມີເຄື່ອງບໍລິໂພກ

ການ​ປຸງ​ແຕ່ງ​ໂດຍ​ກົງ​

ຫມາຍເຫດ: ອຸນຫະພູມຄົງທີ່ (25 ± 0.5 ℃), ໄດ້ຮັບຫຼັງຈາກ preheating ສໍາລັບ 30 ນາທີ