מכונת ניקוב לייזר Micropore עבור מוליכים למחצה

קוטר המיקרו-נקביות המינימלי לעיבוד הוא 5 מיקרומטר, דיוק העיבוד הכולל הוא ±4 מיקרומטר, דיוק התכונה המקומית הוא פחות מ-3 מיקרומטר, ורוחב העיבוד הוא 300*300 מ"מ..

משמש בעיקר עבור: ייצור מכשירים מיקרואלקטרוניים, הכנת תבנית הדפסה, הכנת ביו-שבב, יצירת תבניות מדויקת, ייצור חלקים מדויקים במכשור

1. שימוש בלייזר UV בעל הספק גבוה ויציבות גבוהה כדי להסיר ישירות את חומר הגיזוז, עם פתח עיבוד ברמת מיקרומטר ואזור מושפע חום ברמת מיקרומטר;

2. בקרת מהירות גבוהה ודיוק גבוה של סטיית האלומה באמצעות גלונומטרים מדויקים מיובאים להשגת עיבוד מיקרו-חור מדויק במהירות גבוהה בפורמט קטן;

3. עיבוד מיקרו-חור בפורמט גדול במהירות גבוהה ובדיוק גבוה מתממש על ידי תרגום של פלטפורמת המנוע הליניארי המהיר ברמת המיקרון;

4. ציר ה-Z מתכוונן חשמלית כדי להתאים לחומרים בעוביים שונים ולעמוד בדרישות ספציפיות לעיבוד חורים מתחדדים;

5. המצלמה התעשייתית ברזולוציית העל של ציר הטווח משמשת לתיקון שגיאות של הגלונומטר במסגרות מלאות, מיקוד דיוק אולטרה-גבוה ומדידה מקוונת כדי להבטיח את היציבות והדיוק לטווח ארוך של המערכת;

6. המערכת מאמצת משטחי שיש כדי לשפר את היציבות הכללית של המערכת, וכל הרכיבים המכניים נבחרים בקפידה על מנת להבטיח דיוק לטווח ארוך;

7. קוטר המיקרו-נקבים המינימלי לעיבוד הוא 5μm, דיוק העיבוד הכולל הוא ±4μm, דיוק התכונה המקומית הוא פחות מ-3μm, ורוחב העיבוד הוא 300*300mm;

8. הוא משמש למיקרו-עיבוד מדויק של מתכות, קרמיקה, פרוסות סיליקון, זכוכית, אורגניים וחומרים אחרים, כגון עיבוד מיקרו-חור וחיתוך מדויק.

בהשוואה לעיבוד מיקרו-חור EDM, קידוח מכני, קורוזיה כימית, ניקוב מכני וכו', לעיבוד מיקרו-חור דיוק בלייזר יש את היתרונות הבאים:

מהירות גבוהה (עד 4000 חורים בשנייה)

דיוק גבוה (<3μm)

אין הגבלות חומר (מתכות, קרמיקה, פרוסות סיליקון, חומרים אורגניים וכו')

דפוס חור ניתן לתכנות (מינימום 5 מיקרומטר, חור מחודד ספציפי)

ניתן להתאים אישית את ההפצה (רוחב עיבוד 300 מ"מ*300 מ"מ), אין צורך בתבנית ומסכה

ללא זיהום וללא חומרים מתכלים

עיבוד ישיר

הערה: טמפרטורה קבועה (25±0.5 ℃), מתקבלת לאחר חימום מראש למשך 30 דקות