Micropore լազերային պերֆորացիայի մեքենա կիսահաղորդիչների համար
Մշակման միկրոծակի նվազագույն տրամագիծը 5 մկմ է, մշակման ընդհանուր ճշգրտությունը ± 4 մկմ է, տեղական հատկանիշի ճշգրտությունը 3 մկմ-ից պակաս է, իսկ մշակման լայնությունը՝ 300*300 մմ։.
Հիմնականում օգտագործվում է միկրոէլեկտրոնային սարքերի արտադրության, տպագրական ձևանմուշների պատրաստման, բիոչիպի պատրաստման, ճշգրիտ կաղապարների ձևավորման, գործիքավորման ճշգրիտ մասերի արտադրության համար
1. Բարձր հզորության և բարձր կայունության ուլտրամանուշակագույն լազերի օգտագործումը գազաֆիկացման նյութն ուղղակիորեն հեռացնելու համար՝ մկմ մակարդակի մշակման բացվածքով և մկմ մակարդակի ջերմության ազդեցության գոտիով.
2. Ներմուծված ճշգրիտ գալվանոմետրերի միջոցով ճառագայթների շեղման բարձր արագության և բարձր ճշգրտության հսկողություն՝ բարձր արագությամբ փոքր ձևաչափով ճշգրիտ միկրո-անցքերի մշակման հասնելու համար;
3. Բարձր արագությամբ և բարձր ճշգրտությամբ խոշոր ձևաչափով միկրո-անցքերի մշակումն իրականացվում է միկրոն մակարդակի բարձր արագությամբ գծային շարժիչային հարթակի թարգմանությամբ;
4. Z առանցքը էլեկտրականորեն կարգավորելի է՝ հարմարվելու տարբեր հաստության նյութերին և բավարարելու կոնաձև անցքի մշակման հատուկ պահանջները;
5. Շրջանի առանցքի սուպեր լուծման արդյունաբերական տեսախցիկը օգտագործվում է գալվանոմետրի ամբողջական շրջանակի սխալի ուղղման, գերբարձր ճշգրտության կենտրոնացման և առցանց չափման համար՝ համակարգի երկարաժամկետ կայունությունն ու ճշգրտությունն ապահովելու համար;
6. Համակարգն ընդունում է մարմարե սալիկներ՝ համակարգի ընդհանուր կայունությունը բարելավելու համար, և բոլոր մեխանիկական բաղադրիչները խնամքով ընտրված են՝ երկարաժամկետ ճշգրտություն ապահովելու համար.
7. Մշակման միկրոծակերի նվազագույն տրամագիծը 5 մկմ է, մշակման ընդհանուր ճշգրտությունը ± 4 մկմ է, տեղական հատկանիշի ճշգրտությունը 3 մկմ-ից պակաս է, իսկ մշակման լայնությունը՝ 300*300 մմ;
8. Այն օգտագործվում է մետաղների, կերամիկայի, սիլիկոնային վաֆլիների, ապակու, օրգանական նյութերի և այլ նյութերի ճշգրիտ միկրոհաստոցների համար, ինչպիսիք են միկրո անցք մշակելը և ճշգրիտ կտրումը:
Համեմատած EDM միկրո անցքերի մշակման, մեխանիկական հորատման, քիմիական կոռոզիայի, մեխանիկական դակման և այլնի հետ, լազերային ճշգրիտ միկրո անցքերի մշակումն ունի հետևյալ առավելությունները.
Բարձր արագություն (մինչև 4000 անցք վայրկյանում)
Բարձր ճշգրտություն (<3 մկմ)
Առանց նյութական սահմանափակումների (մետաղներ, կերամիկա, սիլիկոնային վաֆլիներ, օրգանական նյութեր և այլն)
Ծրագրավորվող անցքի նախշ (նվազագույնը 5 մկմ, հատուկ կոն անցք)
Բաշխումը կարող է հարմարեցվել (մշակման լայնությունը 300 մմ * 300 մմ), կաղապար և դիմակ չի պահանջվում
Ոչ աղտոտվածություն և ոչ սպառվող նյութեր
ուղղակի վերամշակում
| Նյութեր | Պարամետր | FM-UVM3A | FM-UVM3B |
| Լազերային | ալիք | 355 նմ | |
| Ուժ | (3W@40kHz (3-40W կամընտիր) | ||
| մոդուլացնող հաճախականություն | 1-200 կՀց | ||
| Զարկերակային լայնությունը | 15ns@40kHz | ||
| ճառագայթի որակը | ＜1.2 | ||
| Գալվո | Սկան տարածք | ＜50*50 մմ | ＜15*15 մմ |
| Կրկնելիության ճշգրտություն | ＜1 մ | ||
| Դիրքորոշման ճշգրտություն | ≤±3um | ||
| XY աղյուսակներ | Ճամփորդություն | 300*300 մմ (600*600 մմ կամընտիր) | |
| Դիրքորոշման լուծում | 0.1մմ | ||
| Կրկնելիության ճշգրտություն | ≤±1մմ | ||
| Դիրքորոշման ճշգրտություն | ≤±3um | ||
| Արագացում | ≤1 Գ | ||
| Արագություն | ≤200 մմ/վ | ||
| Z առանցք | Ճամփորդություն | 150 մմ | |
| Կրկնելիության ճշգրտություն | ≤±3um | ||
| Դիրքորոշման ճշգրտություն | ≤±5մմ | ||
| CCD մոնիտորինգի դիրքավորում | Տեսախցիկ | հինգ մեգապիքսել | |
| Օպտիկական խոշորացում | 10X | ||
| տարածաշրջանի միացում | ճշգրտություն | ± 3 մկմ | |
| Մշակում | Նվազագույն տեղ | 8մմ | 5մմ |
| Անցքերի մշակման ճշգրտությունը | ± 5 մմ | ||
| Կրկնելիության ճշգրտություն | ≤±1մմ | ||
| Մատչելի նյութեր մշակման համար | Ապակի, օրգանական նյութեր, մետաղներ, կերամիկա և այլն: | ||
| GGGGA հավելված | Խողովակների շիշ | ok | լավ |
| մեռնել շիշ | ok | լավ | |
| Պլաստիկ շիշ | ոչ լավ | ok | |
| Փափուկ պայուսակներ | Հասանելի չէ | ok | |
| Սառեցման համակարգ | Ջրային հովացուցիչ նյութ (1500W սառեցման հզորություն) | ||
| Էլեկտրամատակարարում | 220V, 50~60HZ, 1 փուլ կամ հարմարեցված | ||
| Ուժ | ≤2000 Վտ | ||
| Չափում (մմ) | 1200*1200*1900 մմ | ||
| Քաշ (կգ) | 1200 կգ | ||
Նշում. մշտական ջերմաստիճան (25±0,5℃), ստացվել է 30 րոպե նախապես տաքացնելուց հետո
