Μηχανή διάτρησης Laser Micropore για ημιαγωγούς

Η ελάχιστη διάμετρος μικροπόρων επεξεργασίας είναι 5μm, η συνολική ακρίβεια επεξεργασίας είναι ±4μm, η τοπική ακρίβεια χαρακτηριστικών είναι μικρότερη από 3μm και το πλάτος επεξεργασίας είναι 300*300mm..

Χρησιμοποιείται κυρίως για: κατασκευή μικροηλεκτρονικών συσκευών, προετοιμασία προτύπων εκτύπωσης, προετοιμασία βιοτσιπ, διαμόρφωση καλουπιών ακριβείας, κατασκευή εξαρτημάτων ακριβείας οργάνων

1. Χρήση υπεριώδους λέιζερ υψηλής ισχύος και σταθερότητας για την άμεση αφαίρεση του υλικού αεριοποίησης, με άνοιγμα επεξεργασίας σε επίπεδο μm και ζώνη επηρεαζόμενη από τη θερμότητα σε επίπεδο μm.

2. Έλεγχος υψηλής ταχύτητας και υψηλής ακρίβειας της εκτροπής δέσμης μέσω εισαγόμενων γαλβανομέτρων ακριβείας για την επίτευξη επεξεργασίας μικρο-οπών ακριβείας μικρού μεγέθους υψηλής ταχύτητας.

3. Η επεξεργασία μικρο-οπών μεγάλου μεγέθους υψηλής ταχύτητας και υψηλής ακρίβειας πραγματοποιείται με τη μετάφραση της γραμμικής πλατφόρμας κινητήρα υψηλής ταχύτητας σε επίπεδο micron.

4. Ο άξονας Z είναι ηλεκτρικά ρυθμιζόμενος για να προσαρμόζεται σε υλικά διαφορετικού πάχους και να πληροί συγκεκριμένες απαιτήσεις επεξεργασίας κωνικών οπών.

5. Η βιομηχανική κάμερα υπερ-ανάλυσης άξονα εμβέλειας χρησιμοποιείται για τη διόρθωση σφαλμάτων πλήρους καρέ του γαλβανόμετρου, την εστίαση εξαιρετικά υψηλής ακρίβειας και τη διαδικτυακή μέτρηση για τη διασφάλιση της μακροπρόθεσμης σταθερότητας και ακρίβειας του συστήματος.

6. Το σύστημα υιοθετεί μαρμάρινους πάγκους για να βελτιώσει τη συνολική σταθερότητα του συστήματος και όλα τα μηχανικά εξαρτήματα επιλέγονται προσεκτικά για να εξασφαλιστεί μακροπρόθεσμη ακρίβεια.

7. Η ελάχιστη διάμετρος μικροπόρων επεξεργασίας είναι 5μm, η συνολική ακρίβεια επεξεργασίας είναι ±4μm, η τοπική ακρίβεια χαρακτηριστικών είναι μικρότερη από 3μm και το πλάτος επεξεργασίας είναι 300*300mm.

8. Χρησιμοποιείται για μικροκατεργασία ακριβείας μετάλλων, κεραμικών, γκοφρετών πυριτίου, γυαλιού, οργανικών και άλλων υλικών, όπως επεξεργασία μικρο-οπών και κοπή ακριβείας.

Σε σύγκριση με την επεξεργασία μικρο-οπών EDM, τη μηχανική διάτρηση, τη χημική διάβρωση, τη μηχανική διάτρηση κ.λπ., η μηχανική κατεργασία μικρο-οπών ακριβείας λέιζερ έχει τα ακόλουθα πλεονεκτήματα:

Υψηλή ταχύτητα (έως 4000 τρύπες ανά δευτερόλεπτο)

Υψηλή ακρίβεια (<3μm)

Χωρίς περιορισμούς υλικού (μέταλλα, κεραμικά, γκοφρέτες πυριτίου, οργανικά κ.λπ.)

Προγραμματιζόμενο σχέδιο οπών (τουλάχιστον 5μm, ειδική κωνική οπή)

Η διανομή μπορεί να προσαρμοστεί (πλάτος επεξεργασίας 300mm*300mm), δεν απαιτείται καλούπι και μάσκα

Χωρίς ρύπανση και χωρίς αναλώσιμα

άμεση επεξεργασία

Σημείωση: Σταθερή θερμοκρασία (25±0,5℃), που λαμβάνεται μετά από προθέρμανση για 30 λεπτά