Mašina za lasersku perforaciju mikropora za poluprovodnike

Minimalni prečnik mikropora za obradu je 5 μm, ukupna tačnost obrade je ±4 μm, tačnost lokalne karakteristike je manja od 3 μm, a širina obrade je 300*300 mm..

Uglavnom se koristi za: proizvodnju mikroelektronskih uređaja, pripremu šablona za štampanje, pripremu biočipa, precizno oblikovanje kalupa, proizvodnju preciznih delova instrumentacije

1. Korišćenje UV lasera velike snage i visoke stabilnosti za direktnu ablaciju materijala za gasifikaciju, sa otvorom za obradu na nivou μm i zonom zahvaćenom toplotom na nivou μm;

2. Velika brzina i precizna kontrola skretanja snopa kroz uvezene precizne galvanometre za postizanje velike brzine precizne obrade mikro rupa malog formata;

3. Velika brzina i precizna obrada mikro rupa velikog formata se ostvaruje prevođenjem platforme linearnog motora velike brzine na mikronskom nivou;

4. Z-osa je električno podesiva kako bi se prilagodila materijalima različitih debljina i zadovoljila specifične zahtjeve obrade konusnih rupa;

5. Industrijska kamera super-rezolucije osi dometa se koristi za korekciju greške u punom kadru galvanometra, ultra-visoko precizno fokusiranje i merenje na mreži kako bi se osigurala dugoročna stabilnost i tačnost sistema;

6. Sistem koristi mermerne ploče za poboljšanje ukupne stabilnosti sistema, a sve mehaničke komponente su pažljivo odabrane kako bi se osigurala dugoročna tačnost;

7. Minimalni prečnik mikropora za obradu je 5μm, ukupna tačnost obrade je ±4μm, tačnost lokalne karakteristike je manja od 3μm, a širina obrade je 300*300mm;

8. Koristi se za preciznu mikromašinsku obradu metala, keramike, silikonskih pločica, stakla, organskih i drugih materijala, kao što je obrada mikro rupa i precizno sečenje.

U poređenju sa EDM obradom mikro rupa, mehaničkim bušenjem, hemijskom korozijom, mehaničkim probijanjem, itd., laserska precizna obrada mikro rupa ima sledeće prednosti:

Velika brzina (do 4000 rupa u sekundi)

Visoka preciznost (<3μm)

Nema ograničenja u pogledu materijala (metali, keramika, silikonske pločice, organski proizvodi, itd.)

Programabilni uzorak rupa (minimalno 5 μm, specifičan konusni otvor)

Distribucija se može prilagoditi (širina obrade 300mm*300mm), nije potreban kalup i maska

Bez zagađenja i bez potrošnog materijala

direktnu obradu

Napomena: Konstantna temperatura (25±0,5℃), dobijena nakon predgrijavanja od 30 minuta