Машына для лазернай перфарацыі мікрапор для паўправаднікоў

Мінімальны дыяметр мікрапор апрацоўкі складае 5 мкм, агульная дакладнасць апрацоўкі складае ±4 мкм, дакладнасць лакальных характарыстык менш за 3 мкм, а шырыня апрацоўкі складае 300*300 мм..

У асноўным выкарыстоўваецца для: вытворчасці мікраэлектронных прылад, падрыхтоўкі шаблонаў для друку, падрыхтоўкі біячыпаў, дакладнага фармавання прэс-формаў, вытворчасці дакладных дэталяў прыбораў

1. Выкарыстанне высокамагутнага і высокастабільнага УФ-лазера для непасрэднай абляцыі газіфікацыйнага матэрыялу з апертурай апрацоўкі на ўзроўні мкм і зонай тэрмічнага ўздзеяння на ўзроўні мкм;

2. Высакахуткасны і высокадакладны кантроль адхілення прамяня з дапамогай імпартных прэцызійных гальванометраў для дасягнення высакахуткаснай апрацоўкі дробных адтулін з дакладнасцю;

3. Высакахуткасная і высокадакладная шырокафарматная апрацоўка мікраадтулін рэалізуецца шляхам трансляцыі высакахуткаснай платформы лінейнага рухавіка мікроннага ўзроўню;

4. Вось Z электрычна рэгулюецца для адаптацыі да матэрыялаў рознай таўшчыні і задавальнення канкрэтных патрабаванняў да апрацоўкі канічных адтулін;

5. Прамысловая камера высокага раздзялення па восі дыяпазону выкарыстоўваецца для поўнакадравай карэкцыі памылак гальванометра, звышдакладнай факусоўкі і анлайн-вымярэнняў для забеспячэння доўгатэрміновай стабільнасці і дакладнасці сістэмы;

6. Сістэма выкарыстоўвае мармуровыя стальніцы для паляпшэння агульнай стабільнасці сістэмы, і ўсе механічныя кампаненты старанна адабраны для забеспячэння доўгатэрміновай дакладнасці;

7. Мінімальны дыяметр мікрапор для апрацоўкі складае 5 мкм, агульная дакладнасць апрацоўкі складае ±4 мкм, дакладнасць лакальных характарыстык менш за 3 мкм, а шырыня апрацоўкі складае 300*300 мм;

8. Ён выкарыстоўваецца для дакладнай мікраапрацоўкі металаў, керамікі, крэмніевых пласцін, шкла, арганічных і іншых матэрыялаў, такіх як апрацоўка мікраадтулінак і дакладная рэзка.

У параўнанні з апрацоўкай мікраадтулін EDM, механічным свідраваннем, хімічнай карозіяй, механічнай штампоўкай і г.д., лазерная дакладная апрацоўка мікраадтулінаў мае наступныя перавагі:

Высокая хуткасць (да 4000 адтулін у секунду)

Высокая дакладнасць (<3 мкм)

Няма абмежаванняў па матэрыялах (металы, кераміка, крэмніевыя пласціны, арганіка і г.д.)

Праграмуемы малюнак адтулін (мінімум 5 мкм, спецыяльная канічная адтуліна)

Размеркаванне можна наладзіць (шырыня апрацоўкі 300 мм * 300 мм), форма і маска не патрэбныя

Няма забруджвання і расходных матэрыялаў

прамая апрацоўка

Заўвага: пастаянная тэмпература (25±0,5℃), атрыманая пасля папярэдняга награвання на працягу 30 хвілін