ለሴሚኮንዳክተር የማይክሮፖሬ ሌዘር ቀዳዳ ማሽን
ዝቅተኛው የማቀነባበሪያ የማይክሮፖር ዲያሜትር 5μm ነው, አጠቃላይ የሂደቱ ትክክለኛነት ± 4μm ነው, የአካባቢያዊ ባህሪ ትክክለኛነት ከ 3μm ያነሰ ነው, እና የማቀነባበሪያው ወርድ 300 * 300 ሚሜ ነው..
በዋናነት ጥቅም ላይ የሚውለው፡- የማይክሮ ኤሌክትሮኒክስ መሳሪያ ማምረቻ፣ የህትመት አብነት ዝግጅት፣ የባዮቺፕ ዝግጅት፣ ትክክለኛ የሻጋታ አሰራር፣ የመሳሪያዎች ትክክለኛነት ክፍሎች ማምረት
1. ከፍተኛ-ኃይል እና ከፍተኛ-መረጋጋት የ UV ሌዘር በመጠቀም የጋዝ መገልገያ ቁሳቁሶችን በቀጥታ ለማጥፋት, በ μm-ደረጃ ማቀነባበሪያ ቀዳዳ እና በ μm-ደረጃ ሙቀት-የተጎዳ ዞን;
2. ከፍተኛ-ፍጥነት እና ከፍተኛ-ትክክለኛነት ያለው የጨረር ማፈንገጥ መቆጣጠሪያ ከውጭ በሚገቡ ትክክለኛ የጋላቫኖሜትሮች ከፍተኛ ፍጥነት ያለው አነስተኛ ቅርፀት ትክክለኛነት ማይክሮ-ጉድጓድ ማቀነባበሪያ;
3. ከፍተኛ-ፍጥነት እና ከፍተኛ-ትክክለኛነት ትልቅ-ቅርጸት ማይክሮ-ጉድጓድ ማቀነባበር ማይክሮን-ደረጃ ከፍተኛ-ፍጥነት መስመራዊ ሞተር መድረክ መተርጎም;
4. የ Z-ዘንግ በኤሌክትሪክ የሚስተካከለው የተለያየ ውፍረት ካላቸው ቁሳቁሶች ጋር ለመላመድ እና የተወሰኑ የቴፐር ቀዳዳ ማቀነባበሪያ መስፈርቶችን ለማሟላት;
5. የክልል ዘንግ ሱፐር-ጥራት ያለው የኢንዱስትሪ ካሜራ የስርዓቱን የረጅም ጊዜ መረጋጋት እና ትክክለኛነት ለማረጋገጥ የ galvanometer ሙሉ-ፍሬም ስህተት እርማት ፣ እጅግ በጣም ከፍተኛ ትክክለኛነት እና የመስመር ላይ መለካት ጥቅም ላይ ይውላል።
6. ስርዓቱ የስርዓቱን አጠቃላይ መረጋጋት ለማሻሻል የእብነ በረድ ጠረጴዛዎችን ይቀበላል, እና ሁሉም የሜካኒካል ክፍሎች የረጅም ጊዜ ትክክለኛነትን ለማረጋገጥ በጥንቃቄ የተመረጡ ናቸው;
7. ዝቅተኛው የማቀነባበሪያ ማይክሮፎርድ ዲያሜትር 5μm ነው, አጠቃላይ የሂደቱ ትክክለኛነት ± 4μm ነው, የአካባቢያዊ ባህሪ ትክክለኛነት ከ 3μm ያነሰ ነው, እና የማቀነባበሪያው ወርድ 300 * 300 ሚሜ ነው;
8. ለትክክለኛው የብረታ ብረት, የሴራሚክስ, የሲሊኮን ዋይፈርስ, ብርጭቆ, ኦርጋኒክ እና ሌሎች ቁሳቁሶች, እንደ ማይክሮ-ቀዳዳ ማቀነባበሪያ እና ትክክለኛ መቁረጥ የመሳሰሉ ለትክክለኛው ማይክሮሚንግ ጥቅም ላይ ይውላል.
ከኤዲኤም ማይክሮ-ቀዳዳ ማቀነባበሪያ ፣ሜካኒካል ቁፋሮ ፣ኬሚካል ዝገት ፣ሜካኒካል ቡጢ ፣ወዘተ ጋር ሲወዳደር የሌዘር ትክክለኛነት ማይክሮ ቀዳዳ ማሽነሪ የሚከተሉትን ጥቅሞች አሉት።
ከፍተኛ ፍጥነት (እስከ 4000 ጉድጓዶች በሰከንድ)
ከፍተኛ ትክክለኛነት (<3μm)
ምንም የቁሳቁስ ገደቦች (ብረታቶች፣ ሴራሚክስ፣ የሲሊኮን ዋፈርስ፣ ኦርጋኒክ፣ ወዘተ.)
በፕሮግራም ሊሰራ የሚችል ቀዳዳ ንድፍ (ቢያንስ 5μm፣ የተወሰነ የተቀዳ ቀዳዳ)
ስርጭት ሊበጅ ይችላል (የሂደቱ ስፋት 300 ሚሜ * 300 ሚሜ) ፣ ምንም ሻጋታ እና ጭንብል አያስፈልግም
ምንም ብክለት እና ምንም ፍጆታ የለም
ቀጥተኛ ሂደት
እቃዎች | መለኪያ | FM-UVM3A | FM-UVM3B |
ሌዘር | ሞገድ | 355 nm | |
ኃይል | :3W@40kHz (3-40 ዋ አማራጭ) | ||
የማስተካከል ድግግሞሽ | 1 ~ 200 ኪ.ሰ | ||
የልብ ምት ስፋት | 15ns@40kHz | ||
የጨረር ጥራት | 1.2 | ||
ጋልቮ | አካባቢን ይቃኙ | 50*50 ሚሜ | 15*15 ሚሜ |
የመደጋገም ትክክለኛነት | 1 ኤም | ||
የአቀማመጥ ትክክለኛነት | ≤±3um | ||
XY ጠረጴዛዎች | ጉዞ | 300*300ሚሜ (600*600ሚሜ አማራጭ) | |
የአቀማመጥ ጥራት | 0.1um | ||
የመደጋገም ትክክለኛነት | ≤±1um | ||
የአቀማመጥ ትክክለኛነት | ≤±3um | ||
ማፋጠን | ≤1ጂ | ||
ፍጥነት | ≤200ሚሜ/ሴ | ||
Z ዘንግ | ጉዞ | 150 ሚሜ | |
የመደጋገም ትክክለኛነት | ≤±3um | ||
የአቀማመጥ ትክክለኛነት | ≤±5um | ||
የሲሲዲ ክትትል አቀማመጥ | ካሜራ | አምስት-ሜጋፒክስል | |
የእይታ ማጉላት | 10X | ||
ክልል splicing | ትክክለኛነት | ± 3μm | |
በማቀነባበር ላይ | ዝቅተኛ ቦታ | 8um | 5um |
ቀዳዳ ማቀነባበሪያ ትክክለኛነት | ± 5um | ||
የመደጋገም ትክክለኛነት | ≤±1um | ||
ለማቀነባበር የሚገኙ ቁሳቁሶች | ብርጭቆ, ኦርጋኒክ, ብረቶች, ሴራሚክስ, ወዘተ. | ||
GGGGA መተግበሪያ | የቧንቧ ጠርሙስ | ok | ጥሩ |
የሞተ ጠርሙስ | ok | ጥሩ | |
የፕላስቲክ ጠርሙስ | ጥሩ አይደለም | ok | |
ለስላሳ ቦርሳዎች | አይገኝም | ok | |
የማቀዝቀዣ ሥርዓት | የውሃ ማቀዝቀዣ (1500 ዋ የማቀዝቀዝ አቅም) | ||
ገቢ ኤሌክትሪክ | 220V ፣ 50 ~ 60HZ ፣ 1 ደረጃ ወይም ብጁ የተደረገ | ||
ኃይል | ≤2000 ዋ | ||
መለኪያ(ሚሜ) | 1200 * 1200 * 1900 ሚሜ | ||
ክብደት (ኪጂ) | 1200 ኪ.ግ |
ማሳሰቢያ: ቋሚ የሙቀት መጠን (25 ± 0.5 ℃), ለ 30 ደቂቃዎች በቅድሚያ በማሞቅ የተገኘ