Micropore Laser Perforasie masjien vir halfgeleier

Die minimum verwerking mikroporie deursnee is 5μm, die algehele verwerking akkuraatheid is ±4μm, die plaaslike kenmerk akkuraatheid is minder as 3μm, en die verwerking breedte is 300*300mm..

Word hoofsaaklik gebruik vir: vervaardiging van mikro-elektroniese toestelle, voorbereiding van druksjablone, voorbereiding van bioskyfies, presisie vormvorming, vervaardiging van instrumentasie presisieonderdele

1. Die gebruik van hoë-krag en hoë-stabiliteit UV-laser om die vergassingsmateriaal direk te ablateer, met 'n μm-vlak verwerkingsopening en 'n μm-vlak hitte-geaffekteerde sone;

2. Hoëspoed- en hoëpresisiebeheer van straalafbuiging deur ingevoerde presisiegalvanometers om hoëspoed-kleinformaat-presisie-mikrogatverwerking te bewerkstellig;

3. Hoëspoed- en hoë-presisie grootformaat mikrogatverwerking word gerealiseer deur die vertaling van die mikronvlak hoëspoed lineêre motorplatform;

4. Die Z-as is elektries verstelbaar om aan te pas by materiale van verskillende diktes en om aan spesifieke tapsgatverwerkingsvereistes te voldoen;

5. Die reeks-as superresolusie industriële kamera word gebruik vir volraamfoutkorreksie van die galvanometer, ultrahoë-presisiefokusering en aanlynmeting om die langtermynstabiliteit en akkuraatheid van die stelsel te verseker;

6. Die stelsel neem marmer-toonbanke aan om die algehele stabiliteit van die stelsel te verbeter, en alle meganiese komponente word noukeurig gekies om langtermyn-akkuraatheid te verseker;

7. Die minimum verwerking mikroporie deursnee is 5μm, die algehele verwerking akkuraatheid is ±4μm, die plaaslike kenmerk akkuraatheid is minder as 3μm, en die verwerking breedte is 300*300mm;

8. Dit word gebruik vir presisie mikrobewerking van metale, keramiek, silikonwafels, glas, organiese en ander materiale, soos mikrogatverwerking en presisiesny.

In vergelyking met EDM-mikrogatverwerking, meganiese boor, chemiese korrosie, meganiese pons, ens., hou laserpresisie-mikrogatbewerking die volgende voordele in:

Hoë spoed (tot 4000 gate per sekonde)

Hoë presisie (<3μm)

Geen materiaalbeperkings (metale, keramiek, silikonwafels, organiese materiaal, ens.)

Programmeerbare gatpatroon (minimum 5μm, spesifieke tapsgat)

Verspreiding kan aangepas word (verwerkingswydte 300 mm * 300 mm), geen vorm en masker benodig nie

Geen besoedeling en geen verbruiksgoedere

direkte verwerking

Let wel: Konstante temperatuur (25±0.5℃), verkry na voorverhitting vir 30 minute